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應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕工藝。

產(chǎn)品描述：高溫穩(wěn)定性好、機(jī)械強(qiáng)度高、抗腐蝕性強(qiáng)。